BenchMark 450 主要技術(shù)參數(shù)

XY 精度:E₂=(2.5+5L/1000)微米

Z   精度:E₁=(2.0+8L/1000)微米 （ 帶TTL激光和可選5倍鏡頭）

測量范圍

18" X18"X6"

450X450x150毫米

尺寸

48" X45"X67"

1210X1140X1700毫米

負(fù)載能力

65千克

臺面分辨率

0.5微米

光學(xué)

雙重放大 (物鏡 X)



低

0.8

1.0

2.5

5.0

10.0

25.0





高

3.2

4.0

10.0

20.0

40.0

100.0



標(biāo)配物鏡

1X

可選物鏡

0.8X,2.5X,5X

照明

LED 背光,LED 同軸面光

可選特征

多色可編程環(huán)形燈 (PRL)



Ronchi 柵格自動ju jiao



TTL 激光







旋轉(zhuǎn)分度工作臺