物理氣相沉積,化學(xué)氣相沉積,,磁控濺射(PVD,,CVD,PECVD)
DLC類金剛石(鍍鈦)涂層(diamond like carbon, 簡稱DLC) 是一種在微觀結(jié)構(gòu)上含有金剛石成分的涂層,。構(gòu)成DLC的元素為碳,。碳*子和碳*子之間的不同結(jié)合方式,使其最終產(chǎn)生不同的物質(zhì):金剛石(Diamond)-碳碳以sp3健的形式結(jié)合;類金剛石(DLC)-碳碳以sp3和 sp2健的形式結(jié)合,;石墨(Graphite)-碳碳以sp2健的形式結(jié)合,。
DLC涂層的特性:
由于含有金剛石成分,DLC具有很多優(yōu)良的特性:高硬度-60GPa或Hv4800以上,;低摩擦系數(shù)0.02,;極好的膜層致密性;良好的化學(xué)穩(wěn)定性以及良好的光學(xué)性能等,。應(yīng)用于模具上的DLC涂層所表現(xiàn)出的特殊性能遠(yuǎn)超過其它硬質(zhì)涂層,。涂以DLC的沖壓模具主要應(yīng)用包括:石墨切削,各種有色金屬(如鋁合金,,銅合金等)切削,,非金屬硬質(zhì)材料(如亞克力,玻璃纖維,,PCB材料)切削等,。
DLC涂層的工業(yè)化生產(chǎn)開始于上世紀(jì)末和本世紀(jì)初,和普通的應(yīng)用于模具上的硬質(zhì)涂層(如TiN, TiAlN, CrN, TiCN等)相比是一種嶄新的涂層技術(shù),。目前在世界范圍內(nèi),,能將這一技術(shù)很好應(yīng)用的廠家也沒有。DLC是新一代硬質(zhì)涂層技術(shù)和應(yīng)用的典型代表以及發(fā)展方向,。